金融界2024年8月4日消息，天眼查知识产权信息显示，取得一项名为“一种化学机械抛光液“，授权公告号CN113122141B，申请日期为2019年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种化学机械抛光液，包括：水、研磨颗粒，钨的抛光促进剂、过氧化物稳定剂、过氧化物以及直链聚丙烯酸或其盐。本发明的抛光液可以有效降低芯片的表面缺陷，显著提高产品的良率，同时具有优异的钨的抛光速度。
本文源自：金融界
作者：情报员
